近日，中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、山東省計(jì)量科學(xué)研究院、南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院、蘇州市計(jì)量測(cè)試研究院、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院共同召開(kāi)，NQI課題《納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器在生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范》工作會(huì)議。

      該課題取得的研究成果：2項(xiàng)發(fā)明..、1項(xiàng)校準(zhǔn)規(guī)程、2項(xiàng)地方標(biāo)準(zhǔn)、5項(xiàng)社會(huì)公益計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。本次會(huì)議探討了研究中的重點(diǎn)、難點(diǎn)問(wèn)題。為課題的進(jìn)一步研究劃出了目標(biāo)。

      幾何量測(cè)量方法

      指測(cè)量時(shí)所采用的測(cè)量原理、計(jì)量器具相測(cè)量條件的綜合。在測(cè)量過(guò)程中，應(yīng)根據(jù)被測(cè)零件的特點(diǎn)(如材料硬度、外形尺寸、批量大小、精度要求等)和被溯對(duì)象的定義來(lái)擬定測(cè)量方案、選擇計(jì)量器具和規(guī)定測(cè)量條件。

      納米計(jì)量?jī)x器

      納米的計(jì)量并非傳統(tǒng)計(jì)量簡(jiǎn)單拓展。微電子和超精細(xì)加工走入了納米空間。幾何測(cè)量納米逐漸走向?qū)嵱眯?。由于納米的尺度接近原子極限，它的測(cè)量方法和儀器都有獨(dú)特性。

      一、掃描隧道顯微鏡；
      二、激光干涉儀測(cè)距；
      三、干涉儀(由穩(wěn)頻塞曼激光光源、四光束偏振邁克爾干涉儀和數(shù)據(jù)分析電子系統(tǒng)組成)；
      四、X光干涉儀；
      五、電容式位移控制微懸臂原子力顯微鏡；
      六、描探針顯微鏡系列(掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等組成)；
      七、原子力顯微鏡(光學(xué)偏轉(zhuǎn)法檢測(cè))